粒子計數(shù)器法對粒子進行計徑和計數(shù)。進行該項檢漏時在過濾器上游引入人工氣溶膠，在過濾器的下風(fēng)向一側(cè)用粒子計數(shù)器掃描，驗證過濾系統(tǒng)的完整性。
測試步驟如下：
1、進行過濾系統(tǒng)檢漏前，確認(rèn)對設(shè)計風(fēng)速做了均衡調(diào)整。
2、向過濾器的送風(fēng)向中引入氣溶膠，其方式要使同時暴露在氣溶膠中的每臺過濾器獲得均勻的氣溶膠濃度。
3、在引入氣溶膠時測量上游粒子濃度。驗證上游氣溶膠濃度要大于3.53*10⁷個/m³。該濃度將使掃描速度合理，更高的濃度將提高準(zhǔn)確性，并可提高掃描速度。
4、上游氣溶膠濃度連同下面規(guī)定的其他信息，將用于下式，以便使粒子計數(shù)器計數(shù)時計算合格的掃描速度。
5、用計算出的掃描速度，掃描探頭以稍微重疊的行程掃過濾器表面和過濾器組件的四周，使過濾系統(tǒng)的整個面積受到檢測。掃描時，探頭距受測面積約25mm。對過濾器的整個外周，連同過濾介質(zhì)與框架的黏結(jié)處，以及過濾器與安裝架的密封處，都要另外進行掃描。
S_r=C_c*L_s*F_s*D_p/60*N_p
式中，S_r為合格的掃描速度（cm/s或in/s）
    C_c為上游氣溶膠濃度（個/L或個/ft³）
    L_s為顯著滲漏（上游氣溶膠濃度百分比）（一般為0.01%）
    F_s為所用儀器采樣流量（L/min或cfm）
    D_p為平行于掃描方向的探頭尺寸（cm或in）
    N_p為標(biāo)明滲漏的粒子計數(shù)值（1～10）
    60為轉(zhuǎn)換，60s/min
若騷尼奧過濾器及支撐組件時，粒子計數(shù)器探測超過N_p說明可能有滲漏。若粒子讀數(shù)超過N_p，如存在顯著滲漏，則要測定滲透過缺損處的粒子濃度。