檢測目的:檢測潔凈室內(nèi)空氣懸浮粒子等級(jí)。根據(jù)ISO 14644-1:1999(E)確定房間潔凈度分級(jí)。
儀器設(shè)備:塵粒計(jì)數(shù)器
檢測條件:靜態(tài)
對(duì)每種塵粒尺寸的允許計(jì)數(shù)限值:
ISO 4級(jí):≤1020個(gè)/m3:0.3um以上
≤352個(gè)/m3:0.5um以上
ISO 5級(jí):≤10200個(gè)/m3:0.3um以上
≤3520個(gè)/m3:0.5um以上
ISO 6級(jí):≤35200個(gè)/m3:0.3um以上
≤293個(gè)/m3:5.0um以上
檢測步驟:
參考:ISO 14644-1:1999(E)空氣潔凈度分級(jí)
NEBB潔凈室認(rèn)證檢測標(biāo)準(zhǔn)步驟(第二版)
1、本檢測應(yīng)在其它所有檢測完成之后進(jìn)行。
2、潔凈室在檢測進(jìn)行前12小時(shí)通風(fēng)。
3、潔凈室依照ISO 14644-1:1999(E)要求劃分為檢測網(wǎng)格,檢測網(wǎng)格數(shù)量由潔凈室面積(m2)的平方根確定。
4、ISO 5級(jí)潔凈室的采樣時(shí)間間隔為1分鐘,ISO 4和6級(jí)潔凈室的采樣時(shí)間間隔為3分鐘,計(jì)數(shù)器的采樣率為28.3lpm(1立方英尺/分鐘)
5、在每個(gè)網(wǎng)格的中心位置,距地板1m高度至少采樣一次,當(dāng)塵粒數(shù)超過允許計(jì)數(shù)上限75%,則該采樣點(diǎn)需3次采樣。
6、當(dāng)室內(nèi)存在障礙物,采樣點(diǎn)需高于障礙物表面12英寸(1英尺)。
7、根據(jù)收集的數(shù)據(jù)計(jì)算平均值,標(biāo)準(zhǔn)差及95%置信上限。
計(jì)算方法:
式中,Ci為網(wǎng)格平均濃度
N為房間或區(qū)域內(nèi)采樣點(diǎn)總數(shù)
標(biāo)準(zhǔn)1:各采樣點(diǎn)的采樣量的大值均小于大允許采樣量
標(biāo)準(zhǔn)2:(當(dāng)2≤N≤9)
≤大允許采樣量
式中:
t0.95中的t為分布在N-1自由度下95%分位數(shù)。