1、FFU（風機過濾器單元）
風機過濾器單元FFU是近年普通應用在單向流和混合流中的重要凈化設備。它是有標準模數尺寸（1200*600mm，600*600mm，1200*1200mm等）的風機和過濾器（過濾器、超過濾器）的組合體做為潔凈室的終端設備，分散或集中地布置在潔凈廠房的吊頂上。為了保證潔凈廠房的室內參數，它經常與干冷盤管和新風機組組合使其性能參數是：
①斷面平均風速為0.45m/s，而出風速度的均勻性應為平均風速的±20%。
②FFU的機外余壓應≧100Pa，是140Pa以上。
③FFU的單體噪聲應≦50dB(A)。因在單向流潔凈廠房中往往成百臺上千臺的FFU集中設在吊頂上，如果單體噪聲太高，則疊加噪聲就不能被接受。
④斷面風速可調。智能化調節，變頻調節都是可行的。
2、干冷盤管
干冷盤管是新風機組加干冷盤管加FFU空調凈化送風方案的潔凈廠房控制溫度的關鍵換熱設備，設置在潔凈廠房回風夾道的下部或上部。對其性能要求如下：
①為了避免在系統正常運行時干冷盤管產生結露現象，因此通過干冷盤管的進水水溫要高于室內空氣露點2℃。
②為了導走潔凈廠房空調系統啟動時產生的冷凝水，干冷盤管系統還要設置滴水盤和排水系統。
③干冷盤管的排數為雙排，而且空氣通過時阻力不能太大，因此盤管鋁翅片的間距為3mm。
④為了減少空氣通過盤管的阻力，通過盤管的風速應<2m/s。