一、潔凈廠房?jī)?nèi)氣體動(dòng)力管道的敷設(shè)
1、氣體動(dòng)力管道一般包括蒸汽、壓縮空氣、氧氣、氮?dú)狻⑻烊粴狻⒄婵展艿溃瑵崈魪S房是指工藝有空氣潔凈度要求高的廠房。氣體動(dòng)力管道一般屬于GC類壓力管道。氣體動(dòng)力管道的干管一般布置在技術(shù)夾層內(nèi)、技術(shù)夾道內(nèi),當(dāng)有可燃、助燃和窒息性氣體時(shí),應(yīng)有良好的通風(fēng)設(shè)施。氣體管道的干管在廠房的進(jìn)口處,宜設(shè)置入口總閥、壓力表、真空表、超壓切斷、放散管、計(jì)量裝置、減壓裝置及過(guò)濾器等。在室內(nèi)氣體干管的末端應(yīng)當(dāng)連接管徑不小于DN20的管道,并延伸到走廊端頭或者其他適當(dāng)?shù)牡胤揭陆倒?,在下降管上裝設(shè)吹除閥,同時(shí)設(shè)置緩沖箱。吹除時(shí)裝設(shè)臨時(shí)軟管接至排風(fēng)管或其他安全地方排出。摻雜氣體的主管、支管及分支管宜明裝敷設(shè)。主、支管管末端可不設(shè)吹除閥。
2、高(超)純氣體管線長(zhǎng)度應(yīng)盡量短,根據(jù)氣體耗量確定管徑,不宜設(shè)預(yù)留口,不應(yīng)出現(xiàn)“盲管”等不易吹除的部位;在氣體終端純化裝置的進(jìn)、出口處,關(guān)鍵工藝設(shè)備的入口處以及必須進(jìn)行取樣的管段上應(yīng)設(shè)置取樣口。
3、氣體管道穿過(guò)潔凈室的墻壁、樓板時(shí),在墻壁(或樓板)的孔洞內(nèi)管道不應(yīng)有焊縫,在孔洞的兩側(cè)應(yīng)用不銹鋼板封蓋,不銹鋼板與墻壁(或樓板)之間應(yīng)加設(shè)橡膠墊,不銹鋼板用螺釘固定在墻壁(或樓板)之間,均應(yīng)涂以硅膠密封劑進(jìn)行密封。
4、可燃性氣體和氧氣管道的末端或高點(diǎn)應(yīng)裝設(shè)放散管,放散管應(yīng)高出屋脊2米。在可燃?xì)怏w支管上應(yīng)設(shè)崗位水封,在放散管上應(yīng)設(shè)置全天候阻火器。
5、在潔凈室內(nèi),當(dāng)使用可燃性氣體或有毒性氣體的設(shè)備較多時(shí),應(yīng)設(shè)置氣體濃度檢測(cè)報(bào)警裝置。
6、氫、氧氣或易燃易爆管道應(yīng)有可靠的防靜電接地措施。
二、氣體動(dòng)力管道主材和閥門的選用
管道材料應(yīng)根據(jù)氣體純度的不同要求進(jìn)行選擇,高(超)純氣體管道材料應(yīng)具有化學(xué)穩(wěn)定性好,吸附性差,滲透性小等特性。
1、常用高純氣體管道應(yīng)根據(jù)所輸送的不同的氣體和用途選用不同品種的奧氏體不銹鋼管,盡量不用銅材質(zhì)造的管道,按純度要求≥99.9999應(yīng)采用不銹鋼管。≥99.99宜采用不銹鋼管。<99.99可用無(wú)縫鋼管。氣體終端純化裝置入口側(cè)的高純氣體管道一般選用0Cr18Ni9,0Cr19Ni10有縫或無(wú)縫不銹鋼管,但對(duì)于不經(jīng)過(guò)氣體終端純化處理而直接通往用氣點(diǎn)的高純氣體管道宜采用無(wú)縫不銹鋼管。氣體終端純化裝置出口側(cè)的超純氣體管道及摻雜氣體的管道一般選用0Cr17Ni11M02,1Cr18Ni11Nb無(wú)縫不銹鋼管道。接至工藝設(shè)備的管道應(yīng)選用不銹鋼管或不銹鋼波紋管道。不能使用聚四氟乙烯管或其他軟管。
2、輸送無(wú)毒無(wú)味氣體管如凈化干燥的壓縮空氣管、真空管等一般選用熱軋鍍鋅鋼管。
3、高(超)純氣體管道選用閥門應(yīng)選用密封性良好的針型閥、球閥、隔膜閥、真空閥及角閥等;并注意介質(zhì)的壓力要求,對(duì)易燃易爆氣體使用閥門時(shí)壓力應(yīng)提高1-2個(gè)等級(jí)。在潔凈室內(nèi)禁用銅和銅合金的閥門。取樣閥應(yīng)選用不銹鋼波紋管密封閥。選用閥門材料閥體、閥桿為0Cr18Ni9;波紋管為1Cr18Ni11Nb;閥座、填料為聚四氟乙烯;密封墊可用不銹鋼有色金屬或聚四氟乙烯。
4、視工藝生產(chǎn)、潔凈室或局部潔凈設(shè)備的潔凈度等級(jí)要求合理選用氣體管道的高效過(guò)濾器。
三、管道的連接
1、管道的連接應(yīng)采用特制的成型管接頭,三通彎頭等進(jìn)行套管焊接,對(duì)于不銹鋼管必須采用氬弧焊打底,施焊時(shí)在管內(nèi)通入氬氣(以高純度氬為好),其管道附件的制作材料應(yīng)與其配管材料相同。
2、管道與設(shè)備、閥門的連接應(yīng)視具體情況采用法蘭、螺紋、卡套或其他密封性能優(yōu)良的連接方法,螺紋連接宜采用錐螺紋連接為好,這種連接方式,不需要密封墊,但必須在螺紋部分涂上密封劑后方能擰上,不能使用密封帶。采用平螺紋連接時(shí),必須加密封墊,其密封性亞于錐螺紋連接方式。
3、高(超)純氣體管與閥門,附件連接用的密封墊材料應(yīng)采用不銹鋼,有色金屬(如鎳等)、聚四氟乙烯和氟橡膠等。
4、管子的切割不得使用氧炔焰,可采用手工活機(jī)械切割,切口應(yīng)與管軸線垂直。管切口表面平整不得有裂紋。不銹鋼管道粘有大量油脂類灰塵,應(yīng)放入清洗槽清洗,油管道須按設(shè)計(jì)要求進(jìn)行脫脂處理。脫脂方法:脫脂溶劑采用四氯化碳、二氯乙烷或蒸餾乙醇。管道外表面脫:用浸有溶液的抹布擦抹,然后自然風(fēng)干。管道內(nèi)表面脫脂:將溶液灌入管段內(nèi),灌入量占管段體積70%,將管段兩端堵嚴(yán),水平放置10-15分鐘,每5分鐘滾動(dòng)一次,滾動(dòng)3-4次,倒出溶液,用氮?dú)獯蹈?,吹至無(wú)溶液氣味為止。繼續(xù)自然放置24小時(shí)然后用木塞將管道兩段堵嚴(yán)備用。
四、系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)
1、系統(tǒng)安裝完畢后應(yīng)作氣壓強(qiáng)度試驗(yàn),不得作水壓試驗(yàn),氣壓強(qiáng)度試驗(yàn)采用含塵粒徑不大于0.5um的氮?dú)獾榷栊詺怏w,以1.5倍的工作壓力進(jìn)行試驗(yàn),保壓10分鐘,用外涂肥皂水或檢漏液檢查,以不漏為合格。
2、氣壓強(qiáng)度試驗(yàn)合格后作氣密性試驗(yàn),用以氣壓強(qiáng)度試驗(yàn)相同的氣體以1.05-1.10倍工作壓力進(jìn)行,保壓30分鐘,用外涂肥皂水或檢漏液檢查,以不漏為合格。
3、氣密性試驗(yàn)合格后再進(jìn)行管道泄漏量試驗(yàn),試驗(yàn)壓力為工作壓力,保壓24小時(shí),以小時(shí)平均泄漏率小于5‰為合格。
4、吹掃和檢驗(yàn)
(1)系統(tǒng)投入使用前,用干燥凈化的壓縮空氣*吹掃,吹掃時(shí)間一般為24小時(shí)。
(2)吹掃后,用干燥凈化的壓縮空氣進(jìn)行露點(diǎn)和潔凈度檢查。
a.露點(diǎn)檢查:用兩臺(tái)微量水份分析儀,分別設(shè)在管道系統(tǒng)始、末端,分析氣體中的水含量,管路末端的水含量不超過(guò)管路始端的水含量10%為合格。
b.潔凈度檢查:用兩臺(tái)粒子計(jì)數(shù)器分別設(shè)在管路系統(tǒng)的始、末端,分析氣體中的粒子數(shù),管道末端大于3.5um的粒子數(shù)比管道始端的粒子數(shù)增量每升不多于3.5粒為合格。
五、驗(yàn)收
工程驗(yàn)收按現(xiàn)行國(guó)標(biāo)《工業(yè)管道工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》的相關(guān)條款進(jìn)行。